| 摘要 |
本发明提出一种电浆蚀刻设备用抗蚀系统与抗蚀方法,其能够减少局部蚀刻所用电浆蚀刻设备室中的放电管,装置及l或元件发生腐蚀或冲蚀现象,其中系用由微波振荡器20发出的微波M向-石英放电管l10内之CF4及O2混合气体振荡藉以产生电浆放电,该微波振荡器20系利用脉冲产生器21以开-关方式控制由而振荡出一已脉冲化的微波M,其结果可以减低石英放电管l10因电浆放电产生的活性物种气体G引起的冲蚀现象,较佳者,在室100中填充一种抗蚀性油A以防止其中的X-Y驱动机制130等受扩散于室100内之活性物种气体G所腐蚀或冲蚀。 |
| 主权项 |
1.一种电浆蚀刻设备用抗蚀系统,系于一放电管内的反应性气体藉由使用微波或高频波予以电浆放电而产生活性物种气体,利用该等可将欲蚀刻的物件之相对厚部份予以局部蚀刻,该抗蚀系统包括:振荡装置,用以连续地振荡该微波或高频波;及振荡控制装置,用以依开一关方式控制该振荡装置使由该振荡装置振荡出脉冲微波或脉冲高频波。2.如申请专利范围第1项之电浆蚀刻设备用抗蚀系统,其中该已脉冲化的微波或高频波之负载比例系经予设定成75%或较低者,且该已脉冲化的微波或高频波之脉冲频率系经予设定成10kz或更高者。3.如申请专利范围第1项之电浆蚀刻设备用抗蚀系统,其中该反应性气体包括以卤素为主的气体。4.如申请专利范围第3项之电浆蚀刻设备用抗蚀系统,其中该以卤素主的气体包括一选自由四氟化碳气体、六氟化硫气体、三氟化氮气体及其他氟碳化合物气体而成的群体中之一种气体。5.如申请专利范围第1项之电浆蚀刻设备用抗蚀系统,其中该放电管包括由石英放电管、蓝宝石放电管及氧化铝放电管而成的群体选出的一种。6.一种电浆蚀刻设备用抗蚀方法,其中系将一放电管中的反应性气体予以电浆放电以产生活性物种气体,利用该等可将欲蚀刻的物件之相对较厚部份予以局部地蚀刻,该方法包括将一已脉冲化的微波或高频波照射至该电浆蚀刻设备内的该放电管以产生该反应性气体步骤。7.如申请专利范围第6项之电浆蚀刻设备用抗蚀方法,其中该已脉冲化的微波或高频波之负载比例系经予设定成75%或较低者,且该已脉冲化的微波或高频波之脉冲频率系经予设定成10kz或更高者。8.如申请专利范围第6项之电浆蚀刻设备用抗蚀方法,其中该反应性气体包括一以卤素为主的气体。9.如申请专利范围第8项之电浆蚀刻设备用抗蚀方法,其中该以卤素主的气体系由四氟化碳气体、六氟化硫气体、三氟化氮气体及其他氟碳化合物气体而成的群体中选出的一种。10.如申请专利范围第6项之电浆蚀刻设备用抗蚀方法,其中该放电管系由石英放电管、蓝宝石放电管及氧化铝放电管而成的群体中选出的一种。11.一种电浆蚀刻设备用抗蚀系统,包括:-室,于其中接纳一欲蚀刻的物件;-位置控制与驱动机制,其系装设在该室内以使该物件放置一预定的位置上;及-于该室内之以卤素为主的气体,经调适成可电浆放电并产生一活性物种气体以蚀刻该物件;其中该位置控制与驱动机制系浸渍在一抗蚀性油内,该抗蚀性油系不与该活性物种气体反应且其系接纳在该室之内者。12.如申请专利范围第11项之电浆蚀刻设备用抗蚀系统,其中该以卤素主的气体包括由四氟化碳气体、六氟化硫气体、三氟化氮气体与其他氟碳化合物气体而成的群体中选出的一种,且其中该抗蚀性油包括可抗拒氟的全氟聚醚油。13.如申请专利范围第11项之电浆蚀刻设备用抗蚀系统,其更包括:-油通路,其系配置在该室之外以使该抗蚀性油循环于该室之内;及过滤装置,其系以可拆离方式安置于该油通路上以滤除混入该抗蚀性油内的外来物质。14.如申请专利范围第11项之电浆蚀刻设备用抗蚀系统,其更包括:油给入装置,用以将该抗蚀性油给入该室之内;油排放装置,用以将该抗蚀性油由该室排出;-油液面感测器,用以侦检该抗蚀性油之液表面并产生一对应的侦检信号;及第一控制装置以该油液面感测器所发出的该侦检信号为准控制该油给入装置与该油排放装置,以使该抗蚀性油之液面保持在预定的参考位置。15.如申请专利范围第14项之电浆蚀刻设备用抗蚀系统,其更包括:-pH感测器,用以侦检该抗蚀性油之pH値并产生一对应的侦检信号;及第二控制装置具以来自该pH感测器之侦检信号为准在该抗蚀性油具PH値转变成等于或低于一预定的参考pH値时,启动该油排放装置。16.如申请专利范围第14项之电浆蚀刻设备用抗蚀系统,其更包括冷却装置用以冷却该抗蚀性油至一预定的温度。图式简单说明:第一图为依据本发明一实施例之电浆蚀刻设备用抗蚀系统的概略截面图。第二图(a)及第二图(b)为显示出来自脉冲产生器与微波振荡器之信号所具波形之图形,其中第二图(a)所示为经脉冲产生器振荡的驱动信号,而第二图(b)所示为经微波振荡器之已振荡的微波;第三图(a)与第三图(b)为显示出由已脉冲化的微波产生的电浆状态之截面图,其中第三图(a)所示为开启微波振荡器时产生的高密度电浆状态,而第三图(b)所示为在微波振荡器关闭时所保持的电浆状态;第四图为显示石英放电管温度上升的曲线图式;第五图为显示出一已知电浆蚀刻设备例子之截面图;第六图为显示出依据第五图电浆蚀刻设备中的微波振荡状态之曲线图形;及第七图为显示石英放电管的的侵蚀状态之截面图。 |
