| 主权项 |
1.一种步进机晶圆装载装置之固定架结构,该晶圆装载装置包括有:一机台主体,系固设于地板上;光源发射端,固设于该机台主体上;支撑架,连接并固定于机台主体;晶圆匣承座,装设于支撑架上近光源发射端之侧,该晶圆匣承座系受支撑架所支撑且可沿支撑架进行上下移动;以及光源接收端,固设于支撑架上对应于该光源发射端之位置,可接收由光源发射端所发出之光讯号;其特征在于:于支撑架与地板之间设置有该固定架,该固定架系为一额外设置之元件,其一端连接于地板上,另一端则与该支撑架连接,可强化支撑架的结构强度并避免光源接收端在晶圆匣承座进行上下移动时发生晃动现象。2.如申请专利范围第1项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中,该支撑架更包括有一承架部份,该光源接收端系设置于该承架部份的上端,且该固定架系连结于承架部份的下端。3.如申请专利范围第2项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中,该固定架的下端系以螺丝锁固于地板上,固定架的上端则系撑抵住该支撑架之承架部份的下端,可防止该承架部份与光源接收端作上、下方向的晃动。4.如申请专利范围第3项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中,固定架的上端更设有凸缘以防止该承架部份松脱。5.如申请专利范围第2项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中,该固定架的上端系以螺丝锁固于承架部份的下端,固定架的下端则系撑抵住地板上,可防止该承架部份与光源接收端作上、下方向的晃动。6.如申请专利范围第5项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中,固定架的下端更设有底缘,可使固定架的下端更稳定地撑抵住地板。7.如申请专利范围第2项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中,该固定架的上端系以螺丝锁固于承架部份的下端,且固定架的下端也以螺丝锁固于地板上,可防止该承架部份与光源接收端作上、下方向的晃动。8.如申请专利范围第1项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中,该固定架系呈一扁长方体结构,而可定义有一长边、一宽边及一厚度。9.如申请专利范围第8项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中,该固定架的长边之长度为32~37cm。10.如申请专利范围第8项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中该固定架的宽边之宽度为3~7cm。11.如申请专利范围第8项所述之步进机晶圆装载装置之固定架结构,其中,该固定架的厚度为1~3cm。12.一种具有强化固定架结构之步进机晶圆装载装置,该步进机包括有:一可承置光罩的光罩承台、一可承置有复数个晶圆的晶圆承载装置、一晶圆承台、一灯源及一投影器,晶圆系由该晶圆承载装置所下载并放置于晶圆承台上,然后由灯源发出光源射过光罩承台之光罩,经由投影器投影后成像于晶圆承台上之晶圆进行曝光,该晶圆装载装置更包括有:一固设于地板上之机台主体,于机台主体的一侧固设有一向外延伸的支撑架,于机台主体上侧并设有光源发射端,且于地支撑架上对应于光源发射端之位置处设有光源接收端,可接收由光源发射端所发出之光讯号;一晶圆匣承座,架设于支撑架上近光源发射端之侧,该晶圆匣承座系受支撑架所支撑且可沿支撑架进行上下移动;一驱动装置,设置于支撑架上,其包括有一马达及一向上下方向延伸的螺杆,该晶圆匣承座系与该螺杆啮合,可藉由该马达驱动螺杆转动而带动晶圆匣承座上下移动;以及一强化固定架,其一端连接于地板上,另一端则与该支撑架下端连接,可强化支撑架的结构强度并避免光源接收端在晶圆承座进行上下移动时发生晃动现象。13.如申请专利范围第12项所述之步进机晶圆装载装置,其中,该支撑架更包括有一承架部份,该光源接收端系设置于该承架部份的上端,且该固定架系连结于承架部份的下端。14.如申请专利范围第13项所述之步进机晶圆装载装置,其中,该固定架的下端系以螺丝锁固于地板上,固定架的上端则系撑抵住该支撑架之承架部份的下端,可防止该承架部份与光源接收端作上、下方向的晃动。15.如申请专利范围第13项所述之步进机晶圆装载装置,其中,该固定架的上端系以螺丝锁固于承架部份的下端,固定架的下端则系撑抵住地板上,可防止该承架部份与光源接收端作上、下方向的晃动。16.如申请专利范围第13项所述之步进机晶圆装载装置,其中,该固定架的上端系以螺丝锁固于承架部份的下端,且固定架的下端也以螺丝锁固于地板上,可防止该承架部份与光源接收端作上、下方向的晃动。图式简单说明:第一图系习用步进机之立体视图。第二图系习用步进机中之习用晶圆装载装置E的立体视图。第三图系习用晶圆装载装置中之晶圆匣承座100的动作示意图。第四图系习用晶圆装载装置中之晶圆匣106.晶圆110a、110b、接收端103a、103b及机械手臂109的相关位置示意图。第五图系本创作之装设有强化固定架结构的晶圆装载之实施例图。第六图A、第六图B及第六图C系本创作之固定架结构的数个较佳实施例图。 |
