Microscopic scale forming method by selective etching of a doped substrate,申请号AU20010029212-传众专利搜索

发明名称	Microscopic scale forming method by selective etching of a doped substrate
摘要
申请公布号	AU2921201(A)	申请公布日期	2001.05.14
申请号	AU20010029212	申请日期	2000.11.02
申请人	STANDARD MEMS, INC.	发明人	GLENN J. FRICANO;MARK LIZZA;THOMAS A. PUMO;WILLIAM S. TRIMMER
分类号	B81B1/00;B81C1/00	主分类号	B81B1/00
代理机构		代理人
主权项
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