| 摘要 |
ガスチャンバ内に配置された物体の表面を研磨する方法が提供される。この方法は、ガスチャンバに所定の圧力まで放電媒質を充填すること、電極と表面との間に電圧を印加すること、表面に対する電極の高さを調整して電気絶縁破壊しきい値判定基準を確立すること、表面に対して電極をスキャンして、表面上の複数の位置に順番に電極を位置決めすることであって、角位置は表面誤差によって特徴付けられる、位置決めすること、を含む。複数の位置のうちの各位置が、電気絶縁破壊しきい値判定基準を満たす表面誤差を有する時、電気絶縁破壊が発生し、それによって、電気絶縁破壊は、表面を研磨する放電パルスを形成する。【選択図】図１−１ |
