MULTIPLE FREQUENCY PLASMA CHAMBER HAVING GROUND-TYPE CAPACITOR IN CATHODE,申请号KR1020010024071-传众专利搜索

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发明名称	MULTIPLE FREQUENCY PLASMA CHAMBER HAVING GROUND-TYPE CAPACITOR IN CATHODE
摘要
申请公布号	KR20010102930(A)	申请公布日期	2001.11.17
申请号	KR1020010024071	申请日期	2001.05.03
申请人		发明人
分类号		主分类号
代理机构		代理人
主权项
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