| 主权项 |
1.一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,其步骤包含:(a)首先计算出欲进行制程之群组微影机台中,各该微影机台于线上的工作载荷量(Current Loading);(b)将欲进行制程而未分派之各批次(Lot)晶片,依其产品型号(Product ID)分类;(c)检验各初始制程路线中(Original Route)之各该批次晶片于指定分派于单一特定机台之限定情况;(d)检验各该批次晶片则检验该产品型号(ID)列入机台限制表格中的情况;(e)将该机台限制表所列之机台作为该批次晶片之动作候选机台;(f)检验各该等待派工之批次晶片型号与先前已派工予各该机台之批次晶片的型号相同之情况;(g)将该所属型号相同之各该批次晶片,进行试算检验各该等待派工批次晶片选定之机台,于再加入各该等待派工批次晶片后的载荷量(Loading)总数;(h)将各该批次晶片直接分派至各该机台,由该制造执行系统(MES)标明(Highlight)该批次晶片所选定之机台,以作为进行制程之候选机台。2.如申请专利范围第1项所述之一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,系应用制造执行系统(MES)以及电脑整合制造系统(CIM)加以整合处理。3.如申请专利范围第1项所述之一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,其中步骤(c)之后更可包括有下列步骤:(c1)将有限定分派于单一特定机台之批次晶片,直接在制造执行系统(MES)标明(Highlight)该批次晶片所选定之机台。4.如申请专利范围第1项所述之一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,其中步骤(e)之后更可包括有下列步骤:(e1)检验未列入机台限制表格中的批次晶片,则所述群组群组微影机台皆可作为该批次晶片动作候选机台。5.如申请专利范围第4项所述之一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,其中步骤(e1)之后更可包括有下列步骤:(e2)再次查验各该批次晶片所选定之动作机台于唯一限定之情况,若确定只可选定单一机台动作,则直接进行在制造执行系统(MES)标明(Highlight)该批次晶片所选定之机台之步骤。6.如申请专利范围第1项所述之一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,其中步骤(f)之后更可包括有下列步骤:(f1)将各该等待派工之晶片型号与先前已派工予各该机台之批次晶片的型号不相同之各该批次晶片,分派于所述群组群组微影机台中线上载荷量最少(Lightest loading)之机台。7.如申请专利范围第1项所述之一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,其中步骤(g)之后更可包括有下列步骤:(g1)各该等待派工之批次晶片,于该选定之机台再加入各该等待派工批次晶片后的该载荷量(Loading)总数若超过合理范围,则将各该等待派工之批次晶片分派于所述群组群组微影机台中线上载荷量最少(Lightest loading)之机台。8.如申请专利范围第7项所述之一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,其中所述各该机台线上之载荷量合理范围系为各该微影机台于线上的工作载荷量(Current Loading)再加上5%-8%之该线上的工作载荷量范围。9.如申请专利范围第1项所述之一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,其中步骤(h)之后更可包括有下列步骤:(h1)再次计算各该批次晶片所选定机台之线上载荷量,确定各该机台之线上载荷量均未超过合理范围。10.如申请专利范围第8项所述之一种微影机台载荷分配系统之最佳化方法,其中步骤(h)之后更可包括有下列步骤:(h2)确定各该欲进行制程批次(Lot)晶片均已分配于该最适之机台。图式简单说明:第一图系为本发明实施例之机台组(步进机或扫瞄机)分配系统。第二图为实施本发明微影机台载荷分配系统之最佳化方法的流程图。 |
