| 主权项 |
1.一种液体原料之供给系统,具备有液体原料之脱气部与液体流量控制部之液体原料供给系统,其特征为脱气部具备透气性之合成树脂管,以合成树脂管互相连接之液体原料入口与出口、为了沿着合成树脂管之外侧装置流通非活性气体之流路、及该非活性气体之入口与出口之构造。2.如申请专利范围第1项之液体原料之供给系统,其中脱气部为于圆筒型或多角筒型的容器之内侧,卷绕气体透过性之合成树脂管成线圈状来收容之构造。3.如申请专利范围第1项之液体原料之供给系统,其中脱气部为于圆筒型该多角筒型的容器之内侧,将气体透过性之合成树脂管在圆柱体或多角柱体之侧面卷绕为线圈状来收容之构造。4.如申请专利范围第1项之液体原料之供给系统,其中气体透过性之合成树脂管为氟系树脂制之管。5.如申请专利范围第1项之液体原料之供给系统,其中液体原料控制部为质量流动控制器。6.一种液体原料供给方法,系使液体原料脱气同时从液体原料容器来供给于液体流量控制部的方法,其特征为由第一非活性气体之压力从液体原料容器所供给之液体原料流通于气运透过性之合成树脂管之内侧,同时沿着该合成树脂管之外侧表面,由对该合成树脂管的透过性以流通比第一非活性气体较低的第二非活性气体,将溶解于该液体原料之第一非活性气体透过该合成树脂管外侧之后,供给于液体流量控制部的方法。7.如申请专利范围第6项之液体原料之供给方法,其中流通于合成树脂管之内侧的液体原料及第二非活性气体之流通方向为互相相反之方向。8.如申请专利范围第6项之液体原料之供给方法,其中第一非活性气体为氢气或氦气,第二非活性气体为氮气或氩气。9.如申请专利范围第6项之液体原料之供给方法,其中液体原料为有机金属化合物。图式简单说明:第一图表示本发明脱气部之一例斜视图。第二图(A)、第二图(B)表示本发明脱气部之例的纵剖面图。第三图表示适用本发明的供给系统于气化供给装置例的构成图。第四图表示实施例1及比较例1之液体原料之供给试验的流量变动结果之图表。 |
