| 主权项 |
1.一种光圈调整片,尤其用在半导体平版印刷过程中之曝光镜,其具有可彼此相对地旋转之一光圈基座及一凹槽环,并具有多重的扇片,系各自安装在光圈基座及凹槽环中,以及为了调整光圈口径之目的,藉安装在凹槽环中之弯曲轨道导向,及具有一驱动装置,系用于扭转彼此相对之光圈基座与凹槽环,其中弯曲轨道在凹槽环(1)中设计当作周围轨道(6),其轨道分开成为交替使用的有效区曲线(6a)与回行曲线(6b),及其中光圈基座(2)或凹槽环(1),能以预先选定的旋转驱动方向,藉由驱动装置(11)转动,而扇片(4),以循环的方式在周围轨道(6)中被导向。2.如申请专利范围第1项之光圈调整片,其中回行区(6b)至少设计近乎成为多项式。3.如申请专利范围第1项之光圈调整片,其中扇片(4),各自设有轴承(3.5),且经由此轴承,扇片可分别地在周围轨道(6)被导向,及安装在光圈基座。4.如申请专利范围第3项之光圈调整片,其中轴承设计为抗磨擦轴承(3.5)。5.如申请专利范围第4项之光圈调整片,其中两个抗磨擦轴承(3.5),在各情况中,以平行导向的方式,提供给各扇片(4)。6.如申请专利范围第1项之光圈调整片,其中驱动装置(11)之旋转驱动方向,及有效区曲线(6a)与回行曲线(6b)之路线被选择,以致当光圈口径开启时,在回行曲线(6b)之轨道区,一牵引力将施加于扇片(4)上。7.如申请专利范围第1项之光圈调整片,其中有效区曲线(6a)与回行曲线(6b),在凹槽环中均设计为连续的狭缝。图式简单说明:图1显示本发明之具有驱动装置之光圈调整片之半侧面透视图(局部剖面);图2显示一凹槽环之透视图;及图3显示光圈调整片之半剖面图,及从下斜看之透视图。 |
