发明名称 蒸镀机中加热器之支架结构
摘要 一种蒸镀机中加热器之支架结构,系以一插入配合对结合其上支架与下支架,此插入配合对又包括一突出于下支架上端之公元件、及一形成于上支架下端之母元件,其特征在于:公元件又包括有一非真圆截面段,而母元件则系用以套合于公元件上,二者藉由非真圆截面段上之配合形成一限制旋转之机制,用以提供加热器组装时直接套入定位之功能,藉此增进加热器于蒸镀机维修时之组装效率。
申请公布号 TW477825 申请公布日期 2002.03.01
申请号 TW089128064 申请日期 2000.12.27
申请人 台湾茂矽电子股份有限公司 发明人 李俊杰;曾华仁;郑功伟;柯宏霖
分类号 C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人 李长铭 台北巿中山区南京东路二段二十一巷八号二楼
主权项 1.一种蒸镀机中加热器之支架结构,系包括一下支架及一上支架,该下支架与该上支架间系以一插入配合对结合,该插入配合对又包括一突出于该下支架上端之公元件、及一形成于该上支架下端之母元件,其特征在于:该公元件又包括一非真圆截面段,而该母元件系用以套合于该公元件上,并于该非真圆截面段形成一限制旋转之配合。2.如申请专利范围第1项所述之蒸镀机中加热器之支架结构,其中所述之该公元件之该非真圆截面段系为一柱状段落者,该柱状段落之截面至少又包括有一角度轮廓者。3.如申请专利范围第1项所述之蒸镀机中加热器之支架结构,其中所述之该公元件之该非真圆截面段系为一方形截面之柱状段落者。4.如申请专利范围第1项所述之蒸镀机中加热器之支架结构,其中所述之该公元件之该非真圆截面段系为一三角形截面之柱状段落者。5.如申请专利范围第1项所述之蒸镀机中加热器之支架结构,其中所述之该公元件之该非真圆截面段系为一缺角圆截面之柱状段落者。6.如申请专利范围第1项所述之蒸镀机中加热器之支架结构,其中所述之该公元件之该非真圆截面段系为一六角形截面之柱状段落者。7.如申请专利范围第1项所述之蒸镀机中加热器之支架结构,其中所述之该公元件之该非真圆截面段系至少包括有一突出键结构,而该母元件中则包括有一配合该突出键结构之键槽结构。8.如申请专利范围第1项所述之蒸镀机中加热器之支架结构,其中所述之该母元件又至少包括有一止固螺丝,该止固螺丝于该母元件与该公元件配合完成时,得由该母元件外向该母元件中之该公元件迫紧固定。9.如申请专利范围第1项所述之蒸镀机中加热器之支架结构,其中所述之该公元件系为一柱状元件,而该非真圆截面段系为其中包括一键槽通孔之柱状元件段,而该母元件上又包括相对应该键槽通孔之穿孔,当该母元件套合于该公元件上时,该键槽通孔系与该穿孔对正形成为一键槽结构,用以供一键结构插入固定,藉以形成该限制旋转之配合。10.如申请专利范围第9项所述之蒸镀机中加热器之支架结构,其中所述之该柱状元件系为一圆柱状元件者。图式简单说明:图一系为一习知蒸镀机反应室中加热器配置之示意图;图二系为一习知加热器结构之立体分解示意图;图三系为本创作蒸镀机中加热器之支架结构一较佳实施例之立体分解图;图四A系为本创作支架结构之非真圆截面段第一截面实施例之截面示意图;图四B系为本创作支架结构之非真圆截面段第二截面实施例之截面示意图;图四C系为本创作支架结构之非真圆截面段第三截面实施例之截面示意图;图四D系为本创作支架结构之非真圆截面段第四截面实施例之截面示意图;图四E系为本创作支架结构之非真圆截面段第五截面实施例之截面示意图;图五系为本创作蒸镀机中加热器之支架结构另一较佳实施例之剖面分解示意图;图六系为本创作蒸镀机中加热器之支架结构又一较佳实施例之剖面结合示意图;及图七系为本创作蒸镀机中加热器之支架结构再一较佳实施例之剖面结合示意图。
地址 新竹科学工业园区力行路十九号