发明名称 ESTRATIFICADO PARA FORMAR UN ELECTRODO OHMICO Y ELECTRODO OHMICO.
摘要 SE SUMINISTRA UNA ESTRUCTURA MULTIESTRATIFICADA PARA FABRICAR UN ELECTRODO OHMICO PARA SEMICONDUCTORES DE COMPUESTOS III - V TALES COMO SEMICONDUCTORES GAAS QUE TIENE CARACTERISTICAS PRACTICAMENTE SATISFACTORIAS Y UN ELECTRODO OHMICO OBTENIDO MEDIANTE LA MISMA. SOBRE UN SUBSTRATO SEMICONDUCTOR DE UN COMPUESTO III - V TAL COMO UN SUBSTRATO GAAS DE TIPO N{SUP,+}, SE APILAN SECUENCIALMENTE UNA CAPA SEMICONDUCTORA DE CRISTAL NO SIMPLE TAL COMO UNA CAPA DE IN{SUB,0.7} GA{SUB,0.3} AS DE CRISTAL NO SIMPLE, UNA PELICULA DE METAL, TAL COMO UNA PELICULA DE NI, UNA PELICULA DE NITRURO DE METAL TAL COMO UNA PELICULA DE WN Y UNA PELICULA DE METAL REFRACTARIO TAL COMO UNA PELICULA DE W MEDIANTE SUBLIMACION METALICA, ETC. Y SUBSECUENTEMENTE SE MODELA MEDIANTE DESPEGUE, ETC. PARA EFECTUAR UNA ESTRUCTURA MULTIESTRATIFICADA PARA FABRICAR ELECTRODOS OHMICOS. LA ESTRUCTURA ES RECOCIDA ENTRE 500 Y 600 UNDO MEDIANTE, POR EJEMPLO EL METODO RTA PARA FABRICAR UN ELECTRODO OHMICO.
申请公布号 ES2165515(T3) 申请公布日期 2002.03.16
申请号 ES19960927199T 申请日期 1996.08.20
申请人 SONY CORPORATION 发明人 NAKAMURA, MITSUHIRO;WADA, MASURA;UCHIBORI, CHIHIRO;MURAKAMI, MASANORI
分类号 H01L21/285;H01L29/45;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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