发明名称 CERAMIC FILM AND METHOD FOR ITS PREPARATION, AND SEMICONDUCTOR DEVICE AND PIEZOELECTRIC ELEMENT
摘要
申请公布号 KR20020027564(A) 申请公布日期 2002.04.13
申请号 KR1020027002203 申请日期 2002.02.20
申请人 发明人
分类号 H01L41/187;C01G1/00 主分类号 H01L41/187
代理机构 代理人
主权项
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