| 主权项 |
1.一种光碟用母版之加工方法,系将雷射光束集中于已涂敷着感光性材料的母版进行曝光,以形成凹坑之光碟用母版之加工方法,系针对于:采用不连续的光束作为上述雷射光束,利用复数个脉冲别的雷射光束曝光以形成一个凹坑的曝光方法,其特征为:凹坑的前端脉冲及/或后端脉冲的脉冲长度系较之中央部的脉冲长度更长。2.如申请专利范围第1项之光碟用母版之加工方法,其中凹坑的前端脉冲之后的脉冲间隔及/或后端脉冲之前的脉冲间隔系较之中央部的脉冲间隔更长。3.一种压模,系使用如申请专利范围第1项或第2项所述的加工方法制造的。4.一种光碟,系使用如申请专利范围第3项所述的压模制造的。5.一种凹部之加工方法,系将雷射光束集中于已涂敷着感光性材料的母版进行曝光,以形成预定图案的凹部之加工方法,其特征为:系采用不连续的光束作为上述雷射光束,利用复数个脉冲列所形成的雷射光束曝光以形成一个凹部,对应于一个凹部的前端之脉冲长度及/或对应于后端脉冲的脉冲长度系较之对应于中央部的脉冲长度更长。6.如申请专利范围第5项所述的凹部之加工方法,其中前述凹部的前端脉冲之后的脉冲间隔及/或后端脉冲之前的脉冲间隔系较之中央部的脉冲间隔更长。图式简单说明:第1图系本发明的母版加工方法的整体结构所示的光路图。第2图系本发明的脉冲列讯号的产生方法所示的图。第3图系本发明的脉冲列讯号与凹坑的形状所示的图。第4图系本发明的脉冲列讯号与凹坑的形状所示的图。第5图系传统的雷射曝光所使用的讯号以及凹坑形状所示的图。第6图系传统的母版加工方法的整体结构所示的光路图。 |
