METHOD OF DIFFUSION BONDING TARGETS TO BACKING PLATES

摘要

본 발명은 제2 물체에 제1 물체를 접합하는 방법을 포함한다. 제1 물체의 제1 물질 및 제2 물체의 제2 물질이 제공되며, 물리적 접촉으로 서로 연결된다. 이어, 상기 제2 물체의 제2 물질에 입자을 형성함과 동시에 상기 제1 및 제2 물체를 확산접합한다. 상기 형성된 입자의 대부분은 100μ미만의 최대크기를 갖는다. 또한, 본 발명은 배킹플레이트에 접합된 물리적 증착 타겟을 형성하는 방법을 포함한다.