| 主权项 |
1.一种晶圆盒机台之吸尘装置,其主要系包括有一机台,该机台设有一机座及门座,其中该机座系用以承载晶圆盒,而该门座系设有一透空之开口,该开口处系设置有一机门,而该门座与机门间系设有一凹槽,该凹槽于该机门四周系设有复数穿孔,且该穿孔并连接有一吸取装置。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆盒机台之吸尘装置,其中该机座上系设有定位机构,用以对晶圆盒置于其上时之固定。3.如申请专利范围第1项所述之晶圆盒机台之吸尘装置,其中该机门之后侧系连结有一连动机构,而可进行机门之位移操作。4.如申请专利范围第1项所述之晶圆盒机台之吸尘装置,其中该吸取装置系可为一真空产生器。5.如申请专利范围第1项所述之晶圆盒机台之吸尘装置,其中该吸取装置系可为一抽气装置。6.如申请专利范围第1项所述之晶圆盒机台之吸尘装置,其中该吸取装置系包括有吸气管接头及吸气管,该吸气管接头系连接于该穿孔。7.如申请专利范围第1项所述之晶圆盒机台之吸尘装置,其中该门座相对该晶圆盒与机门间系设有薄状胶垫。8.如申请专利范围第1项所述之晶圆盒机台之吸尘装置,其中该门座相对该晶圆盒及机门间系设有一弹性胶垫,该弹性胶垫系为整体性之弹性可压缩材质,其系设有气管道,该气管道并与该穿孔连通,用以供吸尘之作用。图式简单说明:第1图系习知晶圆盒示意图。第2图系习知晶圆盒盖盒时之前视示意图。第3图系本创作之立体示意图。第4图系本创作进一实施例门座之剖视示意图。第5图系本创作进一实施例门座之局部剖视示意图。第6图系本创作再一实施例之剖视示意图。第7图系本创作再一实施例之局部放大剖视示意图。 |
