发明名称 多面体检查用送料器及多面体检查装置
摘要 多面体检查检查装置,系由包含具备检查拥有立方体形状的晶片W的面用之通路形成元件之多面体检查用送料器12所构成。多面体检查用送料器12,系被形成略呈V字状的沟槽,且但含被配置在通路形成元件22的途中之两个旋转送料部25A、25B。各旋转送料部25A、25B,其断面形状系依序被形成略呈V字形、略呈U字形、略呈V字形的配列。同时,在于通路形成元件22,设置介开且移动每个晶片W用的滑槽器18的同时,也设置检查晶片W的面用之摄影机13A至13D;及因应检查结果回收晶片W用的回收装置30。
申请公布号 TW530149 申请公布日期 2003.05.01
申请号 TW090132208 申请日期 2001.12.25
申请人 东洋股份有限公司;琳得科股份有限公司 发明人 木村孝;木川一洋
分类号 G01B5/00 主分类号 G01B5/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种多面体检查用送料器,系属于具备移动检查对象物到所定方向的通路形成元件之多面体检查用送料器,其特征系,前述通路形成元件系被设置成沟槽状的同时,包含利用沿着前述移动方向变化该沟槽的左右倾斜角度用以将检查对象物作成可以旋转成所定角度之旋转送料部之构成。2.一种多面体检查用送料器,系属于具备移动由多面体所形成的检查对象物到所定方向的通路形成元件之多面体检查用送料器,其特征系,前述通路形成元件被设置成沟槽状的同时,且将该沟槽状依序作成略呈V字形、略呈U字形、略呈V字形的配列的同时,并且包含利用沿着前述移动方向变化前述沟槽的左右倾斜角度用以将检查对象物作成可以旋转成所定角度之旋转送料部的构成。3.一种多面体检查用送料器,系属于具备移动由多面体所形成的检查对象物到所定方向的通路形成元件之多面体检查用送料器,其特征系,前述通路形成元件被设置成沟槽状的同时,且将该沟槽状依序作成略呈U字形、略呈V字形、略呈U字形的配列的同时,并且包含利用沿着前述移动方向变化前述沟槽的左右倾斜角度用以将检查对象物作成可以旋转成所定角度之旋转送料部的构成。4.一种多面体检查用送料器,系在于将申请专利范围第2项之旋转送料部的上流侧或下流侧,组入申请专利范围第3项之旋转送料部的构成。5.一种多面体检查用送料器,系可以连续组合2个申请专利范围第2项的旋转送料部。6.一种多面体检查用送料器,系可以连续组合2个申请专利范围第3项的旋转送料部。7.如申请专利范围第1项至第6项中任一项之多面体检查送料器,其中前述通路形成元件,系由沿着前述检查对象物的移动方向所分割之多数个元件所构成,且各通路形成元件,系被设定成下流侧振动频率高于上流侧振动频率,且利用该振动频率的不同作成在于可以切开检查对象物的状态下予以移动。8.一种多面体检查装置,系具备有:将多面体所形成的检查对象物朝所定方向移动之通路形成元件;及被配置在沿着该通路形成元件之附近位置用来检查前述检查对象物的各面之检查装置;及被配置在前述通路形成元件的上流侧用以供应检查对象物到通路形成元件之供应装置,其特征系,前述通路形成元件系被设置成沟槽状的同时,包含沿着前述移动方向变化该沟槽的左右倾斜角度用以将检查对象物作成可以旋转所定角度之旋转送料部的构造,且在于该旋转送料部的上游侧,设置前述检查对象物的分开输送部。9.如申请专利范围第8项之多面体检查装置,其中包含藉由前述检查装置将被判定良窳之检查对象物分成良品、不良品后予以回收之回收装置,此一回收装置,系由拥有检查对象物的吸引口之吸引装置;及在前述沟槽内将气体吹付在前述检查对象物用以施加压力到该检查对象物之吐出装置所构成。10.如申请专利范围第8项或第9项之多面体检查装置,其中前述通路形成元件,系由沿着前述检查对象物的移动方向所分割之多数个元件所构成,且各通路形成元件,系被设定成下流侧振动频率高于上流侧振动频率,且利用该振动频率的不同作成在于可以切开检查对象物的状态下予以移动。图式简单说明:第1图系多面体检查装置的概略正视图。第2图系第1图之主要部份上视图。第3图系通路形成元件及旋转送料部的概略立体图。第4图系旋转送料部的放大上视图。第5图系旋转送料部的放大立体图。第6图系沿着第4图之A-A线段断面图。第7图系沿着第4图之B-B线段断面图。第8图系显示在于上流侧旋转送料部检查对象物旋转的状态之沟槽断面图。第9图系在于下侧旋转送料部检查对象物旋转的状态之沟槽断面图。第10图系显示检查检查对象物时摄影机与吸引管的位置之概略立体图。第11图系朝着第2图之C-C线段箭头方向之放大断面图。第12图之(A)系显示确保晶片间的分开状态之喷嘴的配置例。第12图之(B)系第12图之(A)的概略正视图。
地址 日本