承载器校准之方法与设备,承载搬运器以及半导体搬运设备

摘要

一种依据本发明一较佳具体实施例的承载器校准工具系统提供一工具与使用该工具之方法，其模拟具有一可移动门之半导体承载器的该门。该工具允许施行一开门器机构与该载入台或其他搬运器间之校准，在其上的一承载器在开始处理基材前将被支撑以便测试与修正，直到达成正确之校准。