一种用于置于液氮杜瓦瓶中样品的扫描测量位置调整系统

摘要

本实用新型公开了一种用于置于液氮杜瓦瓶中样品的扫描测量位置调整系统，包括：激光源，其前进的方向上依次置有光扩束器，光分束器，会聚显微物镜，置在带有样品架的液氮杜瓦瓶冷头上的被测列阵样品，CCD摄像机，以及与CCD摄像机相连的CCD监视器。其特征在于：所说的会聚显微物镜镜筒边缘置有若干个发光二极管，用于照明置于杜瓦瓶中的样品，解决了激光束落在杜瓦瓶中样品上的点无法观察到的矛盾，使样品位置调节精度达1μm，足以满足机械扫描要求。本调整系统不但适合于激光束感应电流的微激光束扫描装置中样品位置的调整，同时还可以推广到其它机械上要求高精度对准上。

主权项

1.一种用于置于液氮杜瓦瓶中样品的扫描测量位置调整系统，包括：氦氖激光源(1)，其前进的方向上依次置有光扩束器(2)，光分束器(3)，会聚显微物镜(4)，置在液氮杜瓦瓶(6)冷头上的被测列阵样品(7)，CCD摄像机(9)，以及与CCD摄像机(9)相连的CCD监视器(10)，所说的液氮杜瓦瓶(6)置在样品架(8)上，其特征在于：所说的会聚显微物镜(4)镜筒边缘有若干个发光二极管(5)；激光光源(1)经光扩束器(2)后，进入会聚显微物镜(4)，经会聚显微物镜(4)出射的激光束射入置于液氮杜瓦瓶(6)冷头上的样品(7)表面上，样品表面位于会聚物镜的焦平面上，入射样品(7)表面的激光束一部分被样品表面反射，反射光束再经会聚显微物镜成平行光，再经过分束器(3)反射至CCD摄像机(9)上，且在CCD摄像机(9)镜头无穷远处成光束的像，显示在CCD监视器(10)上；而样品表面被发光二极管(5)照明的光，经样品表面反射，在会聚显微物镜(4)无穷远处的像，经分束器反射成象于CCD摄像机(9)的无穷远处，显示在CCD监视器(10)上。