积体电路之波导

摘要

一种形成一光波导的方法，包含沉积一被覆材料于一第一基板上，在该第一基板上之被覆材料中形成一沟渠，及以一导光芯材填充该沟渠。该被覆材料及导光芯材的上表面然后被平坦化，以生产一实质平坦表面。该方法更包含沉积一被覆材料，于一第二基板上，形成一镜像沟渠于该第二基板上之被覆材料中，并以该导光芯材填充该镜像沟渠。该第二被覆层及其中之芯材的上表面然后被平坦化。随后，第一基板被固定至第二基板，使得该沟渠及该镜像沟渠彼此相邻接，并形成一实质圆形之光芯。