| 摘要 |
与本发明有关之资讯媒体用模板之制造方法，系在玻璃基材(21)上形成含有吸收雷射光束(L)之光束吸收素材之光吸收层(22)，在光吸收层(22)上形成光阻层(23)，在此光阻层(23)上照射雷射光束(L)形成潜影后显影，制作形成了凹凸图案之光阻母模板(2)，在光阻母模板(2)之凹凸图案之形成面上形成模板形成材(11、12)，将光阻母模板(2)之玻璃基材(21)剥离，使用强硷液将光吸收层(22)与光阻母模板(2)同时剥离。藉由此，可避免光阻层(23)之多重曝光之故，可制造凹凸图案明显的形成之光阻母模板(2)以及资讯媒体用模板。又，藉由强硷液，可使光阻层(23)在短时间并且确实的溶融而可除去之故，可使光吸收层(22)容易且短时间从模板形成材(11、12)剥离。 |
