基板收纳用卡匣

摘要

【发明摘要】本发明提供一种基板收纳用卡匣，其可缩小基板收纳间距，进而获致基板收纳用卡匣的小型化及轻量化。基板收纳用卡匣1系在具备形成有上凸部53以支承基板100的靠中心部位的基板座5，且利用机器人等搬送机构200来进行基板100的放入取出之基板收纳用卡匣1中，基板座5的形状系仿傚搬送机构200由下方支承基板100时所发生的基板100弯折形状而设计者。