发明名称 资讯媒体制造用原模之制造方法、原模及光阻剂母板
摘要 本发明可制为形成有清晰的凹凸图形的原模,同时可以利用该原模制造高精确度之资讯媒体。原模之制造方法包括:在基板102上面层合光吸收层103与光阻剂层104,同时在光阻剂层104形成潜像并藉由其显像而形成凹凸图案106以制造光阻剂母板100之工程,在凹凸图形106表面施予钯(Pd)做为对该光阻剂(Photonesist)母板100的凹凸图形上进行无电解电镀之预处理之工程、以及利用无电解电镀,在表面施有钯的凹凸图形上形成金属薄膜108,同时利用电铸在该金属薄膜108上面形成镍膜110,并剥离该金属薄膜108及镍膜110以形成原模120之工程。
申请公布号 TW200301478 申请公布日期 2003.07.01
申请号 TW091137734 申请日期 2002.12.27
申请人 TDK股份有限公司 发明人 小宅久司;高广彰;新井均;宇都宫肇
分类号 G11B7/26 主分类号 G11B7/26
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本