含经氧化铈涂覆的矽粉之水性分散液,彼之制法及用途

摘要

一种含有粉末之水性分散剂，其粉末系藉由混合(宜为喷洒具有低性结构的之经掺杂之高温生成的二氧化矽所形成核心，与铈盐溶液或悬浮液而获得且同时形成氧化铈壳，其中，在分散液中的粉末之平均次级粒子大小不超过0.2微米。该分散液系用于化学机械研磨。