利用两件式罩以保护光网的系统及方法

摘要

一种系统及方法，用以保护光罩不被空气中的颗粒污染。其包括提供光罩紧固于二件式罩中。二件式罩包括可取下的保护装置，用以保护光网不被污染。遮罩装在筴舱或匣内，筴舱或匣用来运送遮罩通过印刷系统，从大气段到真空段。在真空段中，将可取下的遮罩移开以进行曝光处理，在此期间，光网上的图案成形在晶圆上。