光阻剥离组合物及清洁组成物

摘要

本发明之光阻剥离组成物至少包括一种如以下式1所示之氧甲基胺化合物：092104880p01.bmp其中R^1至R^3系如说明中之定义。以式7所示之化合物系式1之氧甲基胺化合物之一种，092104880p02.bmp其中R^2至R^5及n系如说明之定义，其为新颖之化合物。