| 摘要 |
本发明的目的是提供一种具有中间层绝缘膜的半导体显示装置，此中间层绝缘膜能够获得表面平整性同时控制膜形成时间，能够控制以清除湿气为目的的热处理的处理时间，并能够防止中间层绝缘膜中的湿气释放到邻近中间层绝缘膜的膜或电极。形成了包含氮且比有机树脂更不容易透过湿气的无机绝缘膜，以便覆盖TFT。接着，包含光敏丙烯酸树脂的有机树脂膜被涂敷到有机绝缘膜，且有机树脂膜被局部曝光以便开口。然后，形成包含氮且比有机树脂更不容易透过湿气的无机绝缘膜，以便覆盖开口的有机树脂膜。然后，在有机树脂膜的开口部分中，用蚀刻方法对闸极绝缘膜和二个包含氮的无机绝缘膜层开口，以便暴露TFT的主动层。 |
