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发明名称 CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING COMPOSITION AND PROCESS
摘要
申请公布号 IL155554(D0) 申请公布日期 2003.11.23
申请号 IL20030155554 申请日期 2003.04.24
申请人 J.G. SYSTEMS, INC. 发明人
分类号 B24B1/00;C09G;C09G1/04;C09K3/14;H01L21/321;(IPC1-7):C09G 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
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