| 发明名称 |
DUAL FACE SHOWER HEAD ELECTRODE FOR A MAGNETRON PLASMA GENERATING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL135385(A) |
申请公布日期 |
2004.02.08 |
| 申请号 |
IL19980135385 |
申请日期 |
1998.09.28 |
| 申请人 |
METROLINE SURFACES, INC.;DOW GLOBAL TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
ING-FENG HU;JEFFREY DYKHOUSE |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/503;C23C16/509;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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