| 发明名称 | 磁控管电浆处理装置 | ||
| 摘要 | 磁控管电浆处理装置系在处理室（1）内具有以电浆关闭在处理空间（S）内的方式介设在处理空间（S）和排气口（11）之间的挡板（10）。挡板（10）系具有通过处理空间（S）和排气口（11）的复数个贯通孔（10b）。挡板（10）是沿着挡板（10）之存在位置的磁场之磁力线而配置。 | ||
| 申请公布号 | TW200402794 | 申请公布日期 | 2004.02.16 |
| 申请号 | TW092116862 | 申请日期 | 2003.06.20 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 佐东英范;林大辅 |
| 分类号 | H01L21/3065 | 主分类号 | H01L21/3065 |
| 代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 日本 | ||