| 摘要 |
提供一种不昂贵、准确的、及高度可靠的液体排放头，以及制造此液体排放头的方法。在基底上，形成热交联正感光材料层(第一正感光材料层)与第二正感光材料层。首先，在第二正感光材料层上形成图案，接着，在第一正感光材料层上形成另一图案。接着，将用于形成液体通道壁的负树脂叠层于图型化的第一及第二正感光材料层上。在负树脂层中形成排放埠，及接着移除正感光材料层。此时，第一正感光材料层是由主要含有甲基丙烯酸的甲基丙烯酸系共聚物复合材料构成的离子照射分解正光阻，其中，甲基丙烯酸单元是2至30wt％以及分子量为5,000至50,000，以及第二正感光材料层是主要含有聚甲基异丙烯基酮的离子照射分解正光阻。 |
