用于分离材料层之方法

摘要

本发明揭示一种依两层间界定之易碎表面分离两材料层之方法，该方法包括对包含该等层之结构之热退火，该退火使得温度自一启始退火温度成为一最终退火温度，其特征在于在该热退火期间，热退火温度逐步于第一阶段升高至一过渡温度，接着于第二阶段期间，单位时间之温度升高速率高于该第一阶段期间。本发明亦与采用此方法之应用有关。