化学放大型阻剂材料及使用该材料之图案化方法

摘要

一种化学放大型阻剂材料，包括基本树脂及在图案化曝光的波长具有感光性之光酸产生剂；其中，此化学放大型阻剂材料进一步包括藉由图案化曝光以外之处理产生酸或自由基之活化剂。本发明亦揭露使用该材料之图案化方法。