动态感应器组态以及操作时间执行之方法

摘要

提供图形使用者介面(GUIs)以组态及设定供监视一半导体处理系统中之工具及制程性能的动态感应器。半导体处理系统包含数个处理工具、数个处理模组(室)、及数个感应器。组织图形显示以致其所有重要的参数均被清楚且逻辑性地显示，以利使用者得以用尽可能少的输入来执行所欲的组态及设定工作。GUI系网路为基础的且可由使用者使用网路浏览器来观看。