在晶圆上监控重叠对准之方法

摘要

一种在晶圆上监控重叠对准之方法，此方法包括下列步骤：辨识目标机器；辨识目标程序；辨识复数个关键层；从晶圆上至少一指定定位图案中，获得复数个重叠资料当成基准资料；提供复数个参考重叠资料；将复数个参考重叠资料与基准资料建立关联，以获得重叠误差；将重叠误差与目标机器的规格互相比较；当重叠误差在目标机器的规格容许范围内时，接受基准资料，并且以基准资料监控重叠对准。