透过离子植入而制造波导光锥

摘要

一种在一半导体层中制做一光锥之方法。在一具体实施例中，一半导体层系形成于一覆层上。再于该半导体层上形成一光罩层。该光罩层被图案化且被蚀刻，以形成至少一倾斜区域及一厚区域。进行离子植入，而得以将离子植入该倾斜区下面之部分，并具有一相对于覆层表面成一角度倾斜之界面或表面。该倾斜面即构成垂直光锥之一部分。被植入区不与该覆层接触，而是留下一未植入部分以用作一波导，而厚区域下面之部分则未被植入，其形成光锥之一耦合端。