用于激光微处理的体视显微装置

摘要

本实用新型涉及一种用于激光微处理的体视显微装置，属于光电显微技术领域。本装置由激光发生器、光束扩束器、体视显微镜、压电陶瓷扫描组件等构成。其特征是，现有体视显微镜中的双色镜，被压电陶瓷扫描组件所取代，压电陶瓷扫描组件由电驱动压电陶瓷扫描器和扫描激光反射器组成，电驱动压电陶瓷扫描器由三根压电陶瓷棒和固定支撑架构成，其中二根棒含有电极，另一根为支撑棒；扫描激光反射器由激光反射镜和直角镜座构成。本装置具有结构紧凑，体积小巧，性能良好，加工简易，成本低廉，操作方便，对材料处理效果好，精度高，易于组织工业化生产等优点；它可以广泛地应用于材料微小区域的精密加工处理，标记等领域。

主权项

1、一种用于激光微处理的体视显微装置，由激光发射器(1)、光束扩束器(2)、体视显微镜和压电陶瓷扫描组件等构成，体视显微镜由显微目镜组(3)和(4)，显微物镜(8)及镜体组成，其特征是，压电陶瓷扫描组件由电驱动压电陶瓷扫描器(10)和扫描激光反射器(11)构成；压电陶瓷扫描器(10)由两根以上的压电陶瓷棒(14)及固定支撑架(12)组成；扫描激光反射器(11)由激乐反射镜(17)和直角镜座(16)组成；固定支撑架(12)被固定在体视显微镜的镜体上，激光反射镜(17)固定在直角镜座(16)上，直角镜座(16)通过三根压电陶瓷棒(14)，其中二根陶瓷棒含有电极(13)和(15)被固定在支撑架(12)上，陶瓷棒(14)含有电极(13)和(15)的两根压电陶瓷棒(14)，其长度分别通过加载在电极(13)和(15)上的电压大小来分别进行调节，并用以控制激光反射镜(17)在水平方向和垂直方向上的偏转，从而实现激光束(7)到达物镜(8)上的二维角度扫描，通过物镜(8)的聚焦作用，实现了激光束在物镜(8)的焦平面即样品(9)表面上焦点位置的二维扫描；同时，样品(9)上的光被显微镜的显微物镜(8)准直通过双通道(5)到达目镜组(3)和(4)，成为被人眼可视的像。