夹头,微影投射装置,制造夹头的方法及装置制造方法

摘要

一种具有夹头的微影投射装置，其中静电夹头之介电元件具有至少10^16欧姆厘米(Ωcm)之电阻系数，使得：一旦移除在夹头的两个电极之间的电位差，施加在打算被夹紧之物品上的力就会快速地减少低于一预定最小位准。该介电元件也具有小于0.02x10^–6K^–1的热膨胀系数。也揭露一种用来制造夹头的方法，该方法包括将一玻璃陶瓷元件和一玻璃元件接合起来的步骤，其中将一电极包夹在其间且有电流流经第二玻璃元件。