| 摘要 |
本发明是一折反射系统，具有一光罩光学组、一分光器、一非球面反射镜、一挡板、一摺叠反射镜、和一半导体晶圆光学组。该光罩光学组、该分光器、和该半导体晶圆光学组设于同一光束轴，且不同于非球面反射镜和摺叠反射镜的轴。光通过光罩上的影像图案，且被分光器反射于非球面反射镜。非球面反射镜将光逆向反射通过分光器，而至摺叠反射镜。摺叠反射镜将光反射回分光器，分光器将光反射半导体晶圆光学组上。复数个四分之一波片设于本发明之光学元件间的光学路径中，以改变入射光的极性。在光通过半导体晶圆光学组之前，光会先通过挡板，该挡板可防止任何背景散射光进入半导体晶圆光学组。该背景散射光是由分光镜内部反射所造成。在另一实施例中，分光器插入一间隔片，间隔片使光罩光学组的光束轴和半导体晶圆光学组的光束轴产生偏移，此减少从光罩光学组向半导体晶圆光学组的光直接通过。 |
