发明名称 ORGANIC BOTTOM ANTI-REFLECTIVE COMPOSITION AND PATTERNING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 AU2003284724(A1) 申请公布日期 2004.06.18
申请号 AU20030284724 申请日期 2003.11.18
申请人 DONGJIN SEMICHEM CO., LTD. 发明人 JAE-HYUN KIM;CHUN-HYUK LEE;HEE-KOO YOON
分类号 C08K5/107;C08K5/00;C08K5/42;C08L33/14;G03F7/09;(IPC1-7):C08K5/107 主分类号 C08K5/107
代理机构 代理人
主权项
地址