使用一超薄氧扩散障壁层来防止电晶体中侧氧化之方法及装置

摘要

本发明揭示一种用于防止藉由闸极介电质的侧氧化之方法及装置，该等闸极介电质对氧扩散具有高渗透性，例如高k闸极介电质。依据本发明之一项具体实施例，在一基板上形成一闸极结构，该闸极结构具有一透氧性的闸极介电质。然后在该闸极结构的侧壁上形成一透氧性障壁层，以防止氧侧扩散入该透氧性闸极介电质，因而防止对该闸极介电质下面的基板或覆盖在该闸极介电质上面的导电闸极电极氧化。