发明名称 磁感测器及其制造方法
摘要 一种磁感测器包括磁阻元件(31)与永久磁性薄膜(32),其结合在一起,以于方形石英基板(2)上形成GMR元件(11–14,21–24),其中永久磁性薄膜是成对的,且连接到磁阻元件的两端,并藉着将GMR元件适当地安排在相对于石英基板的四边,实现X轴磁感测器与Y轴磁感测器。其中,磁阻元件之栓层(pinnedlayer)(PD)的磁化方向,相对于磁阻元件之纵向,或相对于永久磁性薄膜之磁化方向,形成指定的45度角。因此,即使是在施加强磁场的时候,也可以确实地抑制GMR元件的桥接偏差变化;因此其可明显地改善对强磁场的电阻特性。
申请公布号 TW200415808 申请公布日期 2004.08.16
申请号 TW092128700 申请日期 2003.10.16
申请人 山叶股份有限公司 发明人 佐藤秀树;相曾功吉;涌井幸夫
分类号 H01L43/12 主分类号 H01L43/12
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本