窄鳍片场效应电晶体

摘要

一种具有小于6奈米的通道宽度之窄通道鳍式场效电晶体(FinFET)。该FinFET可包含一鳍片(140)，其中系利用氨水蚀刻或活性离子蚀刻(RIE)来削减该通道区。