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发明名称
摘要
申请公布号 JP3575615(B2) 申请公布日期 2004.10.13
申请号 JP19960536322 申请日期 1996.03.11
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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