场效电晶体之闸极结构的制造方法

摘要

在此揭露一种制造场效电晶体之闸极结构之方法。此闸极结构是藉由依序蚀刻一物质堆叠结构包括一闸极电极层形成在一闸极介电层上。在蚀刻此闸极介电层前，先移除在当闸极电极形成时沉积在基底上之一聚合残留物。此聚合残留物是藉由将基底暴露在一电浆中而移除，而此电浆包括一个或多个含碳氟化合物(Fluorocarbon–containing)气体与至少一种惰性气体。