去除金属氧化物的方法

摘要

本发明系提供一种去除金属氧化物的方法。本发明之方法为以一含有羟胺或羟胺衍生物之溶液，移除一含钛、氟和硫之金属氧化物。上述之金属氧化物系为于钨回蚀制程结束后产生。