| 摘要 |
本发明揭示一种晶圆缺陷的快速线上电光侦测：在将该晶圆移动穿过一成像系统的视场时，使用一重复脉冲雷射的一短光脉冲来照明该晶圆的一截面，及将该移动中晶圆成像至一焦平面装配件上，在该光学成像系统的焦平面处光学形成一连续的光侦测器表面。藉由一明显比该像素停留时间更短的雷射脉冲持续时间来照明该连续移动的晶圆，致使在该晶圆移动期间并无有效影像模糊。该雷射脉冲具有足够的能量与亮度以对建立受检晶圆晶粒的影像所需的各连续受检视场提供必要的照明。本发明还揭示一种有效降低来源同调效应的新型光纤照明输送系统。该系统其他新颖的观点包括：一用于补偿Q–开关式雷射输出之脉冲能量变化的系统、用于自动聚焦晶圆成像系统的方法、及藉由傅立叶平面滤波(Fourier plane filtering)来移除影像重复特征以更容易侦测晶圆缺陷的新颖方法。 |
