具有光吸收层之交替镜孔移相光罩

摘要

本发明大体系关于光学微影，且详言之系关于用于制造半导体装置之透明或半透明移相光罩之制造。详言之，本发明利用一知交替镜孔移相光罩(aaPSM)中之光吸收薄膜来平衡穿过该光罩之每一开口之光的强度。本发明之aaPSMs系用于制造半导体装置或积体电路。