| 主权项 |
1.一种光敏树脂组合物,其至少包含(A)100%(重量百分比)之一硷可溶之丙烯酸共聚物树脂,其系为下列物质之共聚反应产物:(i)5-40%(重量百分比)之不饱和羧酸、无水不饱和羧酸、或其之混合物;(ii)10-70%(重量百分比)之一具有环氧基团之不饱和化合物;及(iii)10-70%(重量百分比)之一不饱和烯烃化合物;同时其具有一相当于聚苯乙烯之分子量,该分子量介于5,000-20,000间;及(B)5-100%(重量百分比)之一光敏二叠氮磺酸酯化合物,其系为下列式1化合物之产物,作为其光敏组合物:其中R1至R6可分别或同时为氢、一卤素、一具1-4个碳原子的烷基、一具1-4个碳原子的烯基、或一羟基;R7及R8可分别或同时为氢、一卤素、或一具1-4个碳原子的烷基;且R9至R11可分别或同时为氢、或一具1-4个碳原子的烷基。2.如申请专利范围第1项所述之光敏树脂组合物,其中该硷可溶树脂(A)系以下列步骤所制备而成:将一种对硷可溶树脂(A)而言为低溶解度之溶剂,滴入或混入至一共聚物溶液中,该共聚物溶液系由(i)不饱和羧酸、无水不饱和羧酸、或其之混合物;(ii)一具有环氧基团之不饱和化合物;及(iii)一不饱和烯烃化合物所组成,沉淀该共聚物溶液;及将溶液分离。3.如申请专利范围第2项所述之光敏树脂组合物,其中该低溶解度之溶剂是水、己烷、庚烷及甲苯之一或其之组合。4.如申请专利范围第1项所述之光敏树脂组合物,其中该(A)(i)之不饱和羧酸、无水不饱和羧酸、或其之混合物是丙烯酸、(甲基)丙烯酸、顺-丁烯二酸、反-丁烯二酸、顺-甲基丁烯二酸、反-甲基丁烯二酸、甲叉丁二酸及其之酸酐之一或其之组合。5.如申请专利范围第1项所述之光敏树脂组合物,其中该(A)(ii)之具有环氧基团之不饱和化合物为以下之一或其之组合:丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-乙基缩水甘油酯、丙烯酸-正-丙基缩水甘油酯、丙烯酸-正-丁基缩水甘油脂、丙烯酸--甲基缩水甘油醇基、(甲基)丙烯酸--甲基缩水甘油基、丙烯酸--乙基缩水甘油基、(甲基)丙烯酸--乙基缩水甘油基、丙烯酸-3,4-环氧基丁基、(甲基)丙烯酸-3,4-环氧基丁基、丙烯酸-6,7-环氧基庚基、(甲基)丙烯酸-6,7-环氧基庚基、-乙基丙烯酸-6,7-环氧基庚基、邻-乙烯基基缩水甘油基醚、间-乙烯基基缩水甘油基酗、及对-乙烯基基缩水甘油基醚。这些化合物可单独使用或以混合物方式使用。其中,(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸--甲基缩水甘油基、(甲基)丙烯酸-6,7-环氧基庚基、邻-乙烯基基缩水甘油基醚、间-乙烯基基缩水甘油基醚、及对-乙烯基基缩水甘油基醚。6.如申请专利范围第1项所述之光敏树脂组合物,其中该(A)(iii)之不饱和烯烃化合物为以下之一或其之组合:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正-丁酯、(甲基)丙烯酸二级-丁酯、(甲基)丙烯酸三级-丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸二环戊基氧基乙基酯、(甲基)丙烯酸异莰基酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊基氧基乙基酯、丙烯酸异莰基酯、(甲基)丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、苯乙烯、-甲基苯乙烯、间-甲基苯乙烯、对-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、1,3-丁二烯、异戊二烯及2,3-二甲基1,3-丁二烯。7.如申请专利范围第1项所述之光敏树脂组合物,其中该光敏组合物包括一添加物,其系为以下之一或其之组合:(C)2-35%(重量百分比)之一含有烷醇之硝基交联剂、(D)1-50%(重量百分比)之一含有乙烯式不饱和双键的聚合物、(E)0.1-30%(重量百分比)之一环氧树脂、(F)0.1-20%(重量百分比)之一促黏剂、及(G)0.0001-2%(重量百分比)之一表面活性剂。8.如申请专利范围第7项所述之光敏树脂组合物,其中该含有烷醇之硝基交联剂为一可由式2、式3、式4、式5、式6、式7或式8来代表之化合物:其中R1、R2、及R3为-CH2O(CH2)n CH3;n是一介于0-3的整数;且R4、R5、及R6可分别为氢、-(CH2)m OH(其中m是一介于1-4的整数)、或-CH2O(CH2)nCH3(其中n是一介于0-3的整数),且至少其中之一是一烷醇;其中R为一苯基或一含有1-4个碳原子之烷基;且R'是氢、-(CH2)m OH(m=1-4)、或-CH2O(CH2)nCH3(其中n是一介于0-3的整数),且至少其中之一是一烷醇;其中R是氢、-(CH2)mOH(m=1-4)、或-CH2O(CH2)nCH3(其中n是一介于0-3的整数),且至少其中之一是一烷醇。9.一种形成一光阻图案之方法,其至少包含图案化一绝缘层,该绝缘层系藉由覆镀一如申请专利范围第1项所述之光敏树脂组合物所制备而成的。 |
