包括一层非结晶质碳层的遮光罩结构

摘要

形成一种具有多层之遮光罩结构。该遮光罩结构包括了一层非结晶质碳层以及形成于该一层非结晶质碳层上之一盖状层。该非结晶质碳层包括了透明非结晶之碳。该盖状层包括了非氧化物材料。在制造半导体装置的过程期间，该遮光罩结构可以在蚀刻制程中被用来作为一遮光罩。