贴接薄膜框至标线板

摘要

一种薄膜被安装在一外框及一内框之间。至少一框系被贴接至标线板而无需使用传统黏胶。该薄膜及标线板可被使用在一微影系统中。该薄膜允许辐射通过该薄膜而照射至该标线板，且可防止微粒通过该薄膜。