| 主权项 |
1.一种隔热支撑台座,用于一炉管中,该隔热支撑台座包括:一顶部支撑座,该顶部支撑座包括一环状基座以及一补强结构,该补强结构系与该环状基座相连,以使该顶部支撑座之结构强度大于该环状基座的结构强度;多数个隔热板,配置于该顶部支撑座下方;以及多数个连接部,连接该些隔热板以及连接该顶部支撑座与该些隔热板之一。2.如申请专利范围第1项所述之隔热支撑台座,其中该顶部支撑座的该环状基座以及该补强结构系一体成型的。3.如申请专利范围第1项所述之隔热支撑台座,其中该环状基座以及该补强结构系构成盘状之该顶部支撑座。4.如申请专利范围第1项所述之隔热支撑台座,其中该环状基座以及该补强结构系构成筒状之该顶部支撑座。5.如申请专利范围第1项所述之隔热支撑台座,其中该些隔热板、该顶部支撑座以及该些连接部之材质相同。6.如申请专利范围第1项所述之隔热支撑台座,其中该些隔热板之材质包括石英。7.如申请专利范围第1项所述之隔热支撑台座,其中该顶部支撑座之材质包括石英。8.如申请专利范围第1项所述之隔热支撑台座,其中该些连接部之材质包括石英。9.一种直立式炉管,包括:一外管;一内管,位于该外管内;一晶舟,配置于该内管内部;以及一隔热支撑台座,位于该内管内部的该晶舟下,其中该隔热支撑台座包括:一顶部支撑座,用以支撑该晶舟,其中该顶部支撑座包括一环状基座以及一补强结构,该补强结构系与该环状基座相连,以使该顶部支撑座之结构强度大于该环状基座的结构强度;多数个隔热板,配置于该顶部支撑座下方;以及多数个连接部,连接该些隔热板以及连接该些隔热板之一与该顶部支撑座。10.如申请专利范围第9项所述之直立式炉管,其中该顶部支撑座的该环状基座以及该补强结构系一体成型的。11.如申请专利范围第9项所述之直立式炉管,其中该环状基座以及该补强结构系构成盘状之该顶部支撑座。12.如申请专利范围第9项所述之直立式炉管,其中该环状基座以及该补强结构系构成筒状之该顶部支撑座。13.如申请专利范围第9项所述之直立式炉管,其中该些隔热板、该顶部支撑座以及该些连接部之材质相同。14.如申请专利范围第9项所述之直立式炉管,更包括一晶舟座,位于该晶舟与该隔热支撑台座之间。15.如申请专利范围第14项所述之直立式炉管,其中该晶舟座的材质包括碳化矽。16.如申请专利范围第9项所述之直立式炉管,更包括:一升降装置,位于该隔热支撑台座下方,用以带动该晶舟进出该内管;一挡门,位于该内管外,以于制程期间封闭该内管;一加热装置,配置于该外管之外围,用以加热该外管;以及一热电偶组,配置于该外管之内部,用以量测温度。17.如申请专利范围第9项所述之直立式炉管,其中该晶舟的材质包括碳化矽。18.如申请专利范围第9项所述之直立式炉管,其中该隔热支撑台座之材质包括石英。图式简单说明:图1是习知一种直立式炉管的结构分解剖面示意图。图2A与图2B系分别为图1的第Ⅱ部位之隔热支撑台座的立体简图与剖面示意图。图3系绘示依照本发明一较佳实施例的直立式炉管之立体示意图。图4A系为图3的第一实例的隔热支撑台座之立体简图。图4B系为图3的第二实例的隔热支撑台座之立体简图。图5则是图4B的隔热支撑台座之剖面示意图。 |
